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亞智打造本土化方案 面板製造邁向智慧化

文‧黃繼寬 發布日期:2017/09/21 關鍵字:濕製程黃光製程Manz

製程設備業者Manz亞智科技在Touch Taiwan展期間宣布推出本土研發的電腦整合製造系統(CIM)與黃光微影中的Track Line設備,成為大中華區第一家打破日商獨占局面的面板製造設備商。該CIM系統讓面板廠得以即時監控整個製造系統的運作狀況,並不斷藉由數據反饋來減少製程缺陷,達到提升面板生產良率的目標。且與使用日商解決方案相比,由於其關鍵技術與供應鏈高度在地化,因此系統客製化設計、設備維護等服務的反應速度更為即時。

Manz亞智科技總經理林峻生表示,雖然Manz集團是德商背景,但面板濕製程設備基本上都是由台灣負責研發製造,因此,不管是CIM或黃光Track Line系統,都是出自台灣研發團隊的手筆,供應鏈也以兩岸業者為主。因此,亞智推出CIM與黃光Track Line,對兩岸的面板設備產業來說,具有相當的里程碑意義。

對面板廠來說,CIM與Track Line可說是黃光微影製程的軟硬核心。Track Line是負責串聯玻璃清洗、光阻塗布、預熱、曝光、固化等各種製程機台的硬體系統,CIM則是與Track Line搭配的軟體平台。以往Track Line都是由日系業者提供,因此CIM通常也是日系業者的天下,或是由面板廠自行尋找其他第三方軟體夥伴來開發。

與目前的作法相比,亞智提供的軟硬整合方案是一站式的服務,不僅可以幫面板廠省下另外開發CIM的時間跟溝通成本,而且Track Line各單元的設備參數、生產配方、履歷等資料,與亞智的CIM也可緊密銜接。面板廠可藉此對產線進行即時、完整的監控,不僅有助於找出製程缺陷及其成因,改善良率,同時還可做到設備預防性維護,以提升產線稼動率。

更積極來看,由於Track Line設備與CIM本土化,面板製造業者未來不用再受制於日系設備業者,可以有更多供應商選擇,且若有系統客製化需求,亞智也可以快速為客戶做出調整,提供更即時的服務。這對於面板製造商發展自己的獨特產品製程,將有很大的幫助。

林峻生透露,亞智目前在面板濕製程領域已經有很完整的產品組合,在面板廠安裝的機台數量更超過3,000台,很多面板客戶都鼓勵亞智從提供單一設備往更高整合度的系統發展。這也是亞智決定投入Track Line跟CIM的原因。目前亞智的高世代面板設備已經發展到10.5代及10.6代,客戶群涵蓋海峽兩岸的各大面板製造商。

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