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宜特科技成立全新高階材料分析實驗室

發布日期:2010/06/02 關鍵字:實驗室材料分析奈米

宜特科技宣布將拓展高階材料分析機台設備,引進穿透式電子顯微鏡(TEM,型號JEOL JEM-2100F)與雙束型聚焦離子束(Dual Beam FIB,型號FEI Helios 600),建立全新高階材料分析實驗室,以因應奈米材料尺寸不斷微縮且半導體產業朝高階製程發展的趨勢。新實驗室預計於6月9日正式營運。  

在微奈米時代下,先進半導體製程與設計規則相對複雜,往往會因微結構的材料表面受到污染或缺陷,干擾原先產品的設計與特性。隨著全球景氣復甦,半導體製造廠商在先進製程委託設計案(NRE)增加當下,更須仔細且精準的材料分析,然而傳統掃描式電子顯微鏡(SEM)卻無法解析到原子級距的高分辨率分析。  

宜特材料分析處陳處長表示,穿透式電子顯微鏡具有高達原子級的0.2奈米解析度,雙束型聚焦離子束則是能分析到22奈米製程的產品,這些分析機台對於試片製備的效率與成功率上,將帶來革命性的進步,並協助客戶縮短產品研發驗證時間。  

該公司目前主要業務為可靠度驗證(RA)、故障分析(FA),而新增的材料分析服務將使驗證平台更加全面與完整。宜特科技總經理林正德表示,過去都將材料分析服務外包出去,但今年要拿回來自己做,所有半導體廠、發光二極體(LED)廠與磊晶廠都會用到材料分析服務,宜特將秉持服務優質化、品質百分百的理念,提供完善且符合客戶需求之解決方案。  

今年適逢宜特科技成立十五週年,配合材料分析實驗室之開幕,也將於6月9日舉辦先進半導體製程材料分析研討會,與研發人員分享材料分析在製程技術上之應用與解決方案。  

宜特科技網址:www.isti.com.tw

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