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提高半導體製程潔淨度 HC管線用加熱器設計再創新

文‧邱倢芯 發布日期:2015/09/09 關鍵字:PFA高可靠性O型環半導體製程

因應先進半導體製程對潔淨度、可靠度愈來愈嚴苛的要求,Heateflex近期推出新型HC管線用投入式加熱器,以及輸入歧管可360度旋轉的液體加熱器/混合器。此兩款產品體積小並完全採用鐵氟龍(PFA)浸濕表面,能使液體於最短時間內達到設定溫度,且讓溫度均勻分布。

Heateflex總裁暨執行長Jorge Ramirez表示,此兩款產品體積精巧,為該公司超高純度加熱設備產品線的新成員,可滿足半導體產業的複雜需求,包括高可靠性與製程純淨度。

據了解,新型HC管線用加熱器包含特殊的內部裝置而毋須使用封膠,可增加產品可靠度。加熱管上的頂焊管帽可取代O型環,防止可能的微粒污染。此加熱器的核心為輕量、全PFA浸水面的特製加熱線圈。此專利加熱元件可對製程需求快速反應,輕量的特性讓加熱器能均勻導熱,在短時間內達到設定的溫度。新型HC管線用加熱器提供各種規格,輸出範圍為2~10kW,使用電壓範圍為120~480V。

另一方面,新型HC管線用加熱器/混合器,將混合功能與一般管線用加熱器的功能與優點結合,精巧體積可加熱並混合液體,適用於小空間廠房使用。混合器能以不同的流動速率混合最多三種不同液體,而內部擋板與加熱元件的結合能將液體均勻混合並加熱後輸出。HC加熱器/混合器的輸入歧管可360度旋轉,可滿足特殊的配管需求,並以垂直或水平的安裝方式節省空間。

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