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聯華林德ESGs助威 台灣半導體產業鏈自給率升級

文‧廖專崇 發布日期:2019/04/22 關鍵字:聯華林德 ESGs Deep UV

高科技發展迅速,在技術進步的同時,也代表生產製造的過程更加嚴謹,同時要求精準度與良率,電子特殊氣體(Electronic Special Gases, ESGs)即是在半導體製程中協助平坦化、清潔、間隔不同Layer等,聯華林德藉由在地化研發與生產電子特殊氣體,為台灣與各地區的半導體業者提供高品質的電子材料,並設立新研發中心,滿足半導體業者與日俱增的材料需求。

台灣最大工業氣體製造商聯華林德,日前在旗下中港工廠舉辦電子材料「SPECTRA EM」品牌上市發表會,推出「一氧化二氮」及「三氟化氮」等11項產品,鎖定電子及半導體等行業所需ESGs市場,聯華林德目前已獨立開發出20種電子材料,並持續研發其他多種材料。除了在地化生產,該公司在台灣的第一家電子等級氟氣工廠也開始商業化生產。

SPECTRA EM是聯華林德與林德集團共同推出的品牌。SPECTRA N氮氣產生器為半導體和面板產業的客戶,提供彈性及高效能的氮氣解決方案。SPECTRA光學雷射氣體則是氖氣與鹵素氣體混合物,此穩定、精確的氣體混合物,能讓客戶利用深紫外光(Deep UV)微影技術,提高生產效能與效率。鑑於半導體製造商專有製程需要客製化的材料解決方案,SPECTRA  EM Gold能提供客製化的純度等級,及更多分析技術與專業包裝。

因此,聯華林德位於中港分公司的研發中心,也協助客戶開發應用於尖端製程的次世代分子技術,具備世界級的電子特氣及原物料分析能力,包括常用的氣相層析、特殊規格氣相層析、鑑識分析/廣域分析/分析方法開發、利用ICP-MS進行金屬不純物分析前的ESG樣品採樣、廣域分析、惰性及腐蝕性氣體的專用水氣分析、混合氣成分濃度量測、惰性氣體的粒子計數、移動式質譜分析、特定不純物的專用分析等。

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