實施汽車晶圓偏移監控 車用元件良率提升有秘訣

製造汽車IC的半導體工廠通常提供整套車用晶片服務(ASP)。這些ASP提供客製化製程,其中包括更多製程控制和製程監控等,或保證使用最佳製程機台,ASP的目標是協助確保所生產的晶片可滿足汽車產業嚴格的可靠性要求。但即便採用整套車用晶片服務,偏移也在所難免,因其存在於任何受控製程之中。認識到這一點,車用晶片半導體廠特別注意為其關鍵製程層建立綜合控制計劃,這也成為其製程失效模式和影響分析(PFMEA)的一部分。
2019 年 02 月 11 日

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