【65奈米光罩檢測系列(三)】檢測65奈米光罩缺陷 反射光與穿透光模式相輔相成

2007 年 03 月 29 日
在新電子251期中,已深入探討在65奈米製程中規畫缺陷的反射光與穿透光檢測模式,並提出通用於兩種檢測模式的缺陷偵測的建議規則。本期文章中,則在兩個圖案對圖案模式中,處理實際的產品光罩。  ...
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