半導體廠氣體壓力監測無痛自動化 無線網格網路小兵立大功
對半導體晶圓製造而言，相當重要的是細緻、準確地沉積多層化學材料，以形成數千、數百萬，甚至在有些情況下是數十億個電晶體，以構成各種各樣複雜的積體電路(IC)。在製造這些IC的過程中，每一步都要精確計量不同的化學氣體，而氣體使用量差異會很大，這是由不同的製程所決定的。在大多數情況下，這些步驟是高度自動化的。有趣的是，尚未自動化的竟然是一個非常簡單的步驟，這就是保持氣體充足供應。
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