宜特科技近日宣布，成為台灣唯一接受台灣大學技術轉移並具備原子探針斷層掃描儀(Atom Probe Tomography, APT)試片製備能力的第三方實驗室，並1月正式啟動APT針狀試片製備服務。此一突破性技術為半導體材料分析提供全新解決方案，特別針對A14製程(14埃米)等超先進製程，克服異質材料整合與立體化元件結構中的分析挑戰。
隨著半導體元件尺寸縮小至奈米級與埃米級，穿透式電子顯微鏡(TEM)逐漸面臨成分分析空間解析度和濃度偵測極限的局限，而APT的出現則為材料分析帶來全新視角。APT不受光學繞射極限限制，能在次奈米級解析度下，精確還原樣品的三維原子結構，並提供10ppm等級的成分分析能力，成為解決半導體研發與良率控制問題的利器。
宜特表示，APT技術尤其適用於分析快速熱退火後的摻雜元素分布、立體化元件中的化學組成，以及異質材料整合的微觀結構問題。其高靈敏度和高空間解析度，使其成為晶圓代工大廠等全球半導體企業前瞻性研究的重要工具。
宜特進一步指出，APT分析需要高度精密的試片製備技術，樣品需加工成針尖型，尖端曲率半徑小於100nm，才能保證精準的場蒸發效果。透過與台灣大學技術轉移暨合作，宜特科技開發出高效的試片製備技術，可應用於薄膜、FinFET半導體元件、MRAM元件及光電材料等。
此項技術的成功讓宜特成為台灣第一家具備APT試片製備能力的第三方實驗室，標誌著材料分析服務的全新里程碑。
