薄膜厚度/晶圓曲度控制有解 矽基氮化鎵LED商用可期

作者: 傅毅耕 / 廖宸梓 / 郭義德
2014 年 06 月 15 日
大尺寸矽基氮化鎵LED商用化指日可待。矽基氮化鎵具備低成本優勢,取代藍寶石基板氮化鎵LED成為市場主流呼聲高漲,惟目前仍須先克服如晶圓彎曲度和薄膜龜裂、氮化鎵薄膜品質和表面平整度、N型氮化鎵摻雜濃度和厚度等技術關卡,才能真正實現大量量產的目標。
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