Advanced Energy電源供應器配備先進脈衝功能

2021 年 12 月 16 日

Advanced Energy推出電漿電源供應器系列的另一款新產品,這款全新的10kW脈衝直流電源供應器不但配備領先業界的電源和控制功能,而且還預裝了 PowerInsight by Advanced Energy這套嵌入式製程優化程式。

這款電源供應器配備已註冊專利的脈衝技術,成功將優化的電弧管理和精確的電漿電源控制功能引進到技術要求極為嚴格的薄膜沉積應用之中,其中包括半導體以至太陽能光伏電池生產等方面的應用。

這款10kW Ascent SMS AP 電源供應器的外型小巧,但其安全工作區(SOA)範圍極為寬廣,例如峰值電壓達1,200V,而頻率則介於0.5至150kHz之間。這款電源供應器的漸進式電弧管理系統共有4個不同的單元,而且可支援全範圍逆向電壓作業,所提供的電弧參數均可自我調節,讓有關參數可以按照製程步伐靈活調節。其中輸出的先進脈衝(AP)波形可以支援升壓、逆向電壓控制以及先進脈衝整形等功能,以便因應薄膜型態和要求的薄膜特性實現波形的微調。

Advanced Energy電漿電源產品資深行銷總監Dhaval Dhayatkar表示,Advanced Energy 將會繼續致力於提升脈衝直流電源供應器的效能,確保這系列產品適用於單一磁控濺鍍方面的應用,而且還有舊式產品所無的適應能力。

這款全新的電源產品是Advanced Energy預裝PowerInsight製程特性分析應用程式和相關優化軟體的電源供應器,讓用戶可利用這些極為實用的資料優化製程,以提升產量和生產良率,以及減少無法預測的製程設備故障停機時間。

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