Aerotech展示精密運動控制方案 客製化服務滿足半導體設備需求

作者: 黃繼寬
2024 年 09 月 13 日

對大多數加工設備而言,運動控制是不可或缺的核心技術之一。對加工精度要求越高的設備,對運動控制系統的要求越嚴格,也越考驗供應商的實力跟經驗。創業至今已有五十多年歷史的美商艾羅德克(Aerotech),看好台灣機械設備業者進軍半導體應用市場所帶來的商機,特別於SEMICON Taiwan展示多款針對先進封裝與矽光子測試開發的精密運動控制方案。

艾羅德克台灣分公司區域經理葉惟仁表示,與先進封裝有關的設備機台,將為台灣的設備業者帶來新的商機,也是該公司在台灣鎖定的重點應用市場

艾羅德克台灣分公司區域經理葉惟仁表示,幾乎所有製造業使用的設備機台都需要運動控制技術,但由於產業特性跟加工精密度的要求不同,讓運動控制這個行業呈現出多樣化、分眾化的面貌。例如食品、金屬加工產業的設備動作相對單純、精度要求也較為寬鬆,但卻需要在較為嚴苛的環境中工作;半導體設備對軸數、精度、產能的要求高,工作環境卻相當乾淨。因此,不同產業所使用的運動控制設備,在規格上存在極大差異。

但半導體設備有一個特性,在其他產業的設備上較為罕見。由於半導體設備執行的製程是高度客製化的,因此半導體設備所整合的運動控制系統,往往也是客製化的方案。為滿足設備業者的需求,針對半導體設備的運動控制,艾羅德克已發展出一整套進行客製化研發的作業流程。從製程的需求分析開始,結合模擬技術及過去數十年累積的資料庫,為設備業者量身訂做專屬方案。葉惟仁強調,這是艾羅德克跟其他運動控制業者最大的差異化所在。

在SEMICON Taiwan期間,艾羅德克特別鎖定晶片先進封裝客群的需求,展示了撓性龍門、六軸平台(Hexapod)與空氣軸承運動平台方案。其中,撓性龍門是專門針對檢測設備設計,其橫樑可以做出一定程度的旋轉動作,因此能讓安裝在橫樑上的AOI設備以不同角度對待測物進行檢測;六軸平台則是用來檢測矽光子元件,或將光纖連接到矽光子元件時所使用的載台。但六軸平台速度較慢,通常是用在研發實驗室或小量生產上;如果有大量生產需求,艾羅德克會建議客戶採用基於六自由度線性馬達的方案。

葉惟仁總結說,由於先進封裝興起,未來幾年台灣將有很多設備業者積極搶進封測市場。除了前面提到的AOI跟矽光子之外,在玻璃上進行雷射鑽孔的應用也有不錯的發展機會。因此,針對台灣市場,艾羅德克將特別聚焦在後段先進封裝設備產業。

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