DAS於國際半導體展揭露廢氣處理趨勢

2014 年 09 月 19 日

德商達思(DAS)日前與台積電、聯電、旺宏及日月光共同在2014「SEMICON Taiwan國際半導體展」之綠色製造永續館,分享綠色環保願景。達思也於整個展會期間以「提升綠色製造競爭力–達思針對新製程材料的解決方案」主題進行每日專題演講。


達思台灣總經理沈森永表示,持續於環保技術開發,是台灣達思與客戶在先進技術中共同成長的唯一方式。身處21世紀,達思協助台灣元件製造廠提升其綠色製造競爭力,致力於提供創新技術,讓客戶因應不斷變化的產業需求。


活動中,達思以「提升綠色製造競爭力–達思針對新製程材料的解決方案」為主題,深入介紹如何透過化學物質和材料的管理與效率、製程和設備管理,以及設備技術要求、可持續性與產品管理來實現符合環保、製程穩定性和可重複性,並兼顧健康和安全的「先進廢氣排放」科技。


同時,為因應新製程材料的挑戰,達思也針對III-V族半導體材料分享解決方案。在半導體前端製程中,若產生III-V族化合物可能導入有害殘留的CMP泥漿和沖洗水;因此,達思從磊晶的廢氣處理、降低剩餘的細小灰塵和洗滌廢水等層面上,分享如何透過尖端廢氣處理技術因應各階段製程的挑戰。


達思網址:www.das-europe.com

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