Micronic搶進半導體光罩市場 以低成本/高效率機台挑戰電子束技術

作者: 王智弘
2006 年 10 月 27 日
全球雷射光罩圖形描繪機知名供應商Micronic,在顯示器光罩市場取得亮麗成績後,更積極朝向半導體光罩市場發展,除既有可支援至130奈米製程技術的Omega6800/6080系列機台外,亦推出可支援至45奈米等級的Sigma7500高階機種,強調生產速度較現今電子束(e-beam)技術快上數倍,並可獲得相同等級的品質。 ...
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