MOCVD導入中央配送系統 LED金屬前導物配送精度躍升

作者: Egbert Woelk
2013 年 08 月 12 日
為縮短LED磊晶生產週期,製造商無不致力改善有機金屬前導物的配送品質;而使用大容量供給罐的中央配送系統,可較當前業界常用的機載系統,提供更好的配送精度,有助提高MOCVD製程的參數穩定性,因而已日益受到市場重視。
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