英國威格斯公司(Victrex)宣布，家登精密工業(Gudeng Precision Industrial)已推出以VICTREX PEEK聚合物所製造的8與12化學機械研磨環(Chemical Mechanical Planarization Ring, CMP環)。VICTREX PEEK擁有耐磨耗特性、低微粒產生高純度與耐化學性，不但符合化學機械研磨製程中的嚴刻要求，並可延長CMP環在化學機械研磨過程中的使用壽命。因此，採用VICTREX PEEK所製造的CMP環可減少因更換已磨損的CMP環而產生的停工時間，進而降低每個晶圓的生產成本。
化學機械研磨是晶圓生產過程中一項關鍵性製程技術。主要作用為移除晶圓表面的介電層與金屬層，達到晶圓表面平坦化以進行後續薄膜沉積、蝕刻等製程步驟。而CMP環是化學機械研磨製程中的關鍵零組件，對於晶圓的品質和生產效率有直接影響。測試結果表示，VICTREX PEEK是製造CMP環的理想材料，其擁有極佳的耐磨耗性，磨損率僅為PPS的1/3，經磨損後產生較少的碎片及發塵量。採用VICTREX PEEK所製造的CMP環使用壽命相對較長，同是可有效地降低對晶圓的汚染。
VICTREX PEEK擁有的獨特綜合性能包括耐磨耗性、抗靜電性、超高純度、高耐熱性、耐化學性以及尺寸穩定性，不但符合半導體產業對材料的嚴苛要求，更可顯著地提升半導體製程效率與良率、降低製造成本、以及帶來創新設計與設計靈活性。
威格斯網址：www.victrex.com、家登精密工業網址：www.gudeng.com
