蔚華/南方聯手推出非破壞性SiC晶圓檢測方案

作者: 黃繼寬
2023 年 11 月 28 日
半導體測試解決方案供應商蔚華科技與旗下數位光學品牌南方科技,近日共同推出JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。該檢測系統是專為碳化矽晶圓的缺陷檢測而設計,可協助碳化矽晶圓供應商跟使用碳化矽材料製造元件的業者實現100%檢測,不僅能節省碳化矽晶圓的成本,還可協助基板跟元件製造商實現更全面的製程分析與控制,進而提高產品良率。...
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