【65奈米光罩檢測系列(三)】檢測65奈米光罩缺陷 反射光與穿透光模式相輔相成

2007 年 03 月 29 日
在新電子251期中,已深入探討在65奈米製程中規畫缺陷的反射光與穿透光檢測模式,並提出通用於兩種檢測模式的缺陷偵測的建議規則。本期文章中,則在兩個圖案對圖案模式中,處理實際的產品光罩。  ...
》想看更多內容?快來【免費加入會員】【登入會員】,享受更多閱讀文章的權限喔!
標籤
相關文章

高齡獨居問題日益嚴重 無線感測網路把關照護工作

2008 年 06 月 25 日

突破安全/電磁干擾問題 車載無線充電器設計達陣

2015 年 12 月 21 日

高彈性/相容性加持 ISA100.11a串聯智慧工廠

2019 年 04 月 08 日

無線充電發展尚未定案 快充/公共布建是普及重點

2018 年 01 月 15 日

公共運輸減碳刻不容緩 重型車輛電動化多路齊發

2022 年 08 月 08 日

NVIDIA Rubin CPX重新定義長文本模型處理極限

2025 年 09 月 10 日
前一篇
恩智浦新一代雙極電晶體提升能源效率
下一篇
鉅景因應市場需求進軍手機MCP市場