專訪台灣羅姆設計中心產品經理李正寧 乾式蝕刻技術打造高精準度感測器

作者: 陳妤瑄
2017 年 01 月 23 日

Kionix於2009年由羅姆集團併購,成為旗下子公司。Kionix近年來致力於以MEMS技術開發加速度計、陀螺儀,採用的是乾式蝕刻技術。此技術是美國康乃爾大學的開創性研發成果,並授權給Kionix。

台灣羅姆設計中心產品經理李正寧表示,濕式蝕刻的介質是液體,感測器元素的原料是矽,蝕刻過後會出現多個間隔,而一塊矽晶圓,如何蝕刻出適當的間隔便是關鍵。由於濕式蝕刻會受到地心引力拉扯的影響,過程中會造成表面平整度出現變化,也就使得每個生產出來的感測器誤差值容易很大,好的很好、差的很差。

台灣羅姆設計中心產品經理李正寧表示,乾式蝕刻不是採用液體來蝕刻,在感測器本身的精準度上就能做得相當好。

不僅如此,感測器後續的表面黏著技術(SMD)製程,還須歷經275度高溫的熱漲冷縮,很可能讓精準度已較差的感測器變得更差。因此,在先天不良的狀況下,後天的校準(Calibration)工作,也就變得十分重要。

而乾式蝕刻不是採用液體來蝕刻,因而不受地心引力的影響,在感測器本身的精準度上就能做得相當好,且相較於濕式蝕刻採用分段蝕刻,乾式蝕刻只需要一次蝕刻就可完成。李正寧進一步表示,乾式蝕刻帶來的高精準度,讓Kionix不太須協助客戶做校準工作。

Kionix近期也推出小型加速度感測器KX222、KX224,成功將加速度感測範圍,從以往感測重力和傾斜的±20G,擴大至±32G,將可滿足家電、工規馬達、計步器等應用,在進行更高範圍感測,如振動、撞擊時的需求。除了擴大感測範圍,該感測器也採用了2mm×3mm的小型封裝,有助於各種應用裝置的小型化。

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