專訪台灣羅姆設計中心產品經理李正寧 乾式蝕刻技術打造高精準度感測器

作者: 陳妤瑄
2017 年 01 月 23 日
MEMS慣性感測器的晶圓蝕刻技術,可分成濕式與乾式兩種。採用乾式蝕刻(Plasma Etching)的好處在於,由於其過程不含水分,較不易受到地心引力的影響,因此在感測器整體的精準度上,得以維持得很好,連帶讓後續校準工作變得簡單,甚至可以直接省去此一步驟。而羅姆(ROHM)集團旗下的Kionix,即是大量採用此一技術的代表性廠商。
》想看更多內容?快來【免費加入會員】【登入會員】,享受更多閱讀文章的權限喔!
標籤
相關文章

可攜式裝置與LED應用商機旺 電源IC業者強化市場布局

2007 年 06 月 29 日

機器至機器需求帶動 微控制器連網應用看漲

2007 年 07 月 05 日

整合多通訊標準實現機聯網 IIoT再創新商業模式

2018 年 07 月 15 日

虛實整合應用滲透多元領域 工業元宇宙整合AI逐漸發酵

2023 年 04 月 15 日

ChatGPT挺進AI 2.0 生成式AI攻克LLM天險

2023 年 04 月 24 日

迎接運算架構典範轉移 量子運算將顛覆半導體技術

2023 年 04 月 27 日
前一篇
新一代MOSFET助力 伺服器功率轉換效率達標
下一篇
能源管理一把罩 施耐德全新架構平台上陣