專訪台灣羅姆設計中心產品經理李正寧 乾式蝕刻技術打造高精準度感測器

作者: 陳妤瑄
2017 年 01 月 23 日
MEMS慣性感測器的晶圓蝕刻技術,可分成濕式與乾式兩種。採用乾式蝕刻(Plasma Etching)的好處在於,由於其過程不含水分,較不易受到地心引力的影響,因此在感測器整體的精準度上,得以維持得很好,連帶讓後續校準工作變得簡單,甚至可以直接省去此一步驟。而羅姆(ROHM)集團旗下的Kionix,即是大量採用此一技術的代表性廠商。
》想看更多內容?快來【免費加入會員】【登入會員】,享受更多閱讀文章的權限喔!
標籤
相關文章

IP產業加速跨入新世代 整合資源創造無縫網路世界

2005 年 12 月 15 日

創新應用無所不在 多媒體驅動手機元件再升級

2006 年 01 月 16 日

資訊無所不在的未來 資訊月展揭櫫數位生活面貌

2006 年 01 月 27 日

因應市場需求層出不窮 量測儀器推陳出新

2007 年 10 月 02 日

專訪德州儀器台灣區總經理陳建村 德儀類比IC擴充產能搶市占

2012 年 01 月 05 日

智慧手機/穿戴式趕搭熱潮 無線充電應用紅不讓

2016 年 03 月 07 日
前一篇
新一代MOSFET助力 伺服器功率轉換效率達標
下一篇
能源管理一把罩 施耐德全新架構平台上陣