專訪台灣羅姆設計中心產品經理李正寧 乾式蝕刻技術打造高精準度感測器

作者: 陳妤瑄
2017 年 01 月 23 日
MEMS慣性感測器的晶圓蝕刻技術,可分成濕式與乾式兩種。採用乾式蝕刻(Plasma Etching)的好處在於,由於其過程不含水分,較不易受到地心引力的影響,因此在感測器整體的精準度上,得以維持得很好,連帶讓後續校準工作變得簡單,甚至可以直接省去此一步驟。而羅姆(ROHM)集團旗下的Kionix,即是大量採用此一技術的代表性廠商。
》想看更多內容?快來【免費加入會員】【登入會員】,享受更多閱讀文章的權限喔!
標籤
相關文章

照明安規/量測並進 台灣掌AC LED國際規格有望

2009 年 03 月 11 日

垂直整合/策略聯盟不斷 群雄競逐LED商機

2010 年 08 月 02 日

搶進Win 8供應鏈 MEMS業者力爭微軟認證

2012 年 12 月 10 日

搭載多重人機介面 智慧電視助長體感/聲控熱潮

2012 年 12 月 24 日

蘋果加強「軟」功夫 先進製程IC導入恐趨緩

2014 年 03 月 03 日

Matter晶片認證清單分析 大廠態度有冷有熱(2)

2023 年 04 月 07 日
前一篇
新一代MOSFET助力 伺服器功率轉換效率達標
下一篇
能源管理一把罩 施耐德全新架構平台上陣