專訪台灣羅姆設計中心產品經理李正寧 乾式蝕刻技術打造高精準度感測器

作者: 陳妤瑄
2017 年 01 月 23 日
MEMS慣性感測器的晶圓蝕刻技術,可分成濕式與乾式兩種。採用乾式蝕刻(Plasma Etching)的好處在於,由於其過程不含水分,較不易受到地心引力的影響,因此在感測器整體的精準度上,得以維持得很好,連帶讓後續校準工作變得簡單,甚至可以直接省去此一步驟。而羅姆(ROHM)集團旗下的Kionix,即是大量採用此一技術的代表性廠商。
》想看更多內容?快來【免費加入會員】【登入會員】,享受更多閱讀文章的權限喔!
標籤
相關文章

HD DVD/藍光搶進家庭多媒體中樞 高畫質儲存世代來臨

2006 年 06 月 21 日

誓言取代線性式電源供應器 AC/DC晶片商全面出擊

2007 年 11 月 26 日

擘劃美好城市生活願景 科技產業聯手打下堅實基礎

2017 年 02 月 02 日

高畫質影音體驗需求增 HDMI/VESA布局腳步加快

2018 年 03 月 15 日

寬頻延伸/低延遲 5G實現醫療多元可能性

2019 年 08 月 18 日

三大類感測器全面智慧化 工業應用台廠有機會

2025 年 02 月 27 日
前一篇
新一代MOSFET助力 伺服器功率轉換效率達標
下一篇
能源管理一把罩 施耐德全新架構平台上陣