解析能力再提升 193i延展材料強化微影技術

2016 年 05 月 23 日
為延續摩爾定律,半導體製造商近期已開始採用特殊旋塗式微縮化學材料;這種材料能藉由表面化學作用使電路中的孔洞更加圓滑,並改善電路邊緣粗糙等情況,有助突破現今193i微影技術的解析度限制,製造出密度更高、線寬更窄的積體電路。
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