達思廢氣處理設備運用燃燒/水洗技術分解N2O

2012 年 08 月 06 日

台灣達思(DAS)推出UPTIMUM,該設備專為在使用端(Point-of-Use)達到高效率廢氣處理而設計,在化學氣相沉積(CVD)製程中,可達到最高每分鐘500公升(slm)的廢氣處理效率,解決許多精進製程在提高生產效率的同時相對帶來的挑戰。


該款廢氣處理設備首次售予台灣的太陽能電池製造商。太陽能電池廠商在製造抗反射薄膜及鈍化保護層時會產生一氧化二氮(N2O),目前台灣政府已計畫將此類氣體列入應處理的廢氣項目,而UPTIMUM便是運用成熟的燃燒/水洗技術來分解一氧化二氮的最佳方案,此建議並已獲台灣一知名研究機構認同。


除了UPTIMUM優異的處理能力外,達思也透過低能源消耗、設備的高使用率,以及全年無休的完善服務,取得新客戶的最終信賴。


達思將於今年9月5日至7日於台北南港展覽館所舉行的「SEMICON Taiwan 2012國際半導體展」中展示相關解決方案。


達思網址:www.das-europe.com

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