默克跨足半導體材料有成 旋塗式介電材料受青睞

作者: 陳妤瑄
2016 年 09 月 12 日

材料業者默克(Merck)近年在半導體材料領域進行多筆投資布局,如今已有所斬獲。該公司推出的旋塗式介電材料(Spin on Dielectric, SOD),因具有極佳的填隙能力,可帶來局部平坦化效果並形成極薄的絕緣層,因而受到許多半導體製造商採用。此外,在微縮材料、顯影材料方面,該公司產品組合也更加完整。


默克全球IC材料事業處資深副總裁Rico Wiedenbruch表示,電晶體尺寸不斷縮小,使得晶片的效能與功耗得以持續改善,同時也讓晶片設計者可以在單一晶片上不斷添加更多功能。不過,電晶體越做越小,也帶來新的技術挑戰,例如填隙與絕緣,就是許多半導體業者所面臨的主要挑戰,且往往要靠材料技術的創新才能突破。


挑戰之所在,也就是機會之所在。近年來默克持續加碼布局半導體材料市場,並陸續推出一系列完整的半導體製程材料解決方案,以協助半導體業者克服電晶體微縮的技術挑戰。其中,旋塗式介電材料因具備許多優異的特性,因此推出後已廣獲邏輯、記憶體等晶片製造商採用。


旋塗式介電材料(Spin on dielectric, SOD)擁有絕佳的填洞能力及局部平坦化效果,其所形成的薄膜也具備更好的特性。該材料可填進很微小的空隙裡,並且能在空隙中形成極薄的絕緣層,不但可提供客戶更廣的製程操作範圍,還可以為客戶帶來降低設備成本的優勢。


除了旋塗式介電材料外,默克還針對其他半導體製程需求開發出專用解決方案,協助顧客面對挑戰。其IC材料事業處的其他IC材料產品還包括頂部抗反射材料(TARC)、防塌濕潤劑(Rinse)、方向性排列材料(Directed Self Assembly, DSA)、沉積材料(Atomic Layer Deposition, ALD)、導電膠(Conductive Paste)等。


默克近年來積極在台布局IC材料事業,並透過策略性併購,為半導體製程提供更加廣泛、創新的材料產品組合。該公司在2014年併購安智電子,並將其在新竹縣湖口鄉的三座生產中心納入集團中,正式跨入半導體產業,提供積體電路製程關鍵材料。隔年11月則再度併購SAFC Hitech,並將其高雄路竹廠區(台灣賽孚思科技),納入台灣事業版圖。

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