安捷倫(Agilent)發表積體電路特性描述與分析程式(IC-CAP)WaferPro(Wafer Professional)軟體，該款新軟體為半導體元件的模擬應用，提供一個多元件(Multi-site)、多晶圓的自動化直流與射頻(RF)量測解決方案。
台灣安捷倫電子量測事業群總經理張志銘表示，元件模擬的複雜度不斷提高，連帶增加萃取與驗證所須量測。統計模擬對晶圓代工廠來說是一大挑戰，但也是負責處理較小電晶體及較複雜應用的設計師必須優先考慮的事。此外，不只是製程開發與製造環境，就連元件模擬實驗室也愈來愈常採用安捷倫的參數測試系統。WaferPro是為了解決這些挑戰而率先推出的新產品。
WaferPro可讓使用者控制半自動與全自動探針台。因支援最新的切換矩陣及熱夾頭解決方案，WaferPro可在一個溫度範圍內自動執行局部(Spot)與掃描(Swept)量測。WaferPro直接控制安捷倫4070及4080參數測試系統的能力，大幅提升量測速度。
使用WaferPro，每當溫度改變就會自動執行晶圓對準，如此可省去工程師監測量測的麻煩。測試計畫可自動在不同量測站使用不同硬體執行，以提高實驗室設備的利用率。以複雜結構為基礎的WaferPro，也能執行高效率的資料分析與處理，並為之後複雜的模擬作業提供良好的基礎。
安捷倫網址：www.agilent.com
