從微米走向奈米 半導體製程推進難關不斷

作者: 葉同成
2005 年 10 月 21 日
根據新修訂ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)技術藍圖,清楚地指出目前半導體製程技術,已經從早期微米以上製程不斷地微縮,經過0.1微米以下,進入到「奈米」世代...
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