德州儀器推出DLP991UUV數位微型反射鏡元件 強化無光罩數位光刻技術

2025 年 10 月 08 日

德州儀器推出DLP991UUV數位微型反射鏡元件(DMD),強化新一代數位光刻技術。該產品是德州儀器迄今為止最高解析度的直接成像解決方案。該元件憑藉890萬像素、次微米級解析度功能以及每秒1,100億像素的資料傳輸速率,在不需昂貴光罩技術的情況下,為日趨複雜的封裝製程提供所需的可擴展性、成本效益與精密度。

在先進封裝的製造領域,無光罩數位光刻機日益普及。這類設備無需光罩或高級模板,即可透過投影光線在材料上蝕刻電路設計。先進封裝技術將多個晶片與多種技術整合於單一封裝之中,藉此製造出適用於中心資料中心、5G等高運算應用的更小巧、更快速、更具電源效率的系統。

憑藉TI DLP技術,系統組裝設備製造商可運用無光罩數位光刻技術,實現先進封裝所需的大規模高解析度印刷。全新的DLP991UUV作為可編程式光罩,提供精準的像素控制與可靠的高速效能。

TI副總裁兼DLP技術總經Jeff Marsh表示:「正如我們透過推動電影從膠片轉向數位投影,重新定義了電影產業,TI的DLP技術如今也再次引領產業重大變革。我們正推動無光罩數位光刻系統的研發,讓全球工程師能夠突破先進封裝技術的現有瓶頸,將強大的運算解決方案導入市場。」

為提升先進封裝技術,光刻技術需要更精確、更符合成本效益、且具可擴充性。TI的DLP技術透過消除光罩基礎設施及其相關成本,大幅降低了製造成本,同時提供在不需更換實體光罩的條件下,進行即時設計調整的靈活性。該技術可在任意尺寸的基板上實現次微米級精度,直接帶來更高的產量、更佳的良率和更少的缺陷。對先進封裝製造商來說,滿足人工智慧系統與5G網路對高頻寬、低功率元件的需求日益增加,這些優勢變得更加重要。

DLP991UUV是TI直接成像產品組合中最新且技術最先進的產品。該產品的主要特點包括:

– 提供產品組合中最高的解析度,超過890萬像素
– 最高處理速度可達每秒1,100億像素
– 405nm下功率位準達22.5W/cm²
– 能在最低343nm波長下運作
– 產品組合中反射鏡間距最小,僅5.4um

德州儀器DLP技術運用數百萬個微型鏡片的力量,提供高解析度顯示與進階光學控制解決方案。該技術實現了廣泛的應用,從家庭影院中投影出的絢麗的4K畫面、到透過智慧車用照明提升道路安全,以及用於下一代工業製造的高精密度光刻和機械視覺系統。

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