Cymer日前宣布與KLA-Tencor簽署共同合作的協議。在協議簽署之後，Cymer將會提供光源光譜的各項細節以整合至KLA-Tencor的符合業界標準的顯影最佳化工具PROLITH。
此外，兩家公司期望共同開發功能更強大PROLITH版本。透過此項合作，Cymer和KLA-Tencor計畫運用其已獲得認可的專業技術提供更高的準確度，讓使用者能夠立即獲得更精準的光學顯影製程表現。因此，顧客可以快速地進行其顯影製程的最佳化，進而縮短其量產前所需的準備時間，將整體的投資報酬率(ROI)增至最大，在今日先進的顯影競技場中藉由取得關鍵差異性而獲得成功。
先進的顯影製程最佳化工具PROLITH可幫助使用者在評估製程效能的改善時，洞悉顯影製程參數響。同時，透過新的增效功能，讓PROLITH的顧客夠在其先進的顯影製程中，將光源光譜特性的變化所造成的影響加以模型化，並且使用這些結果將其製程有效地最佳化，將差異所造成影響減至最小。使用者現在可以取得PROLITH最新的版本9.3.1。
Cymer網址：www.cymer.com
KLA-Tencor網址：www.kla-tencor.com
