EUV微影面臨六大挑戰 材料工程/計量技術解難題

作者: Regina Freed
2022 年 09 月 01 日
半個多世紀以來,傳統摩爾定律2D縮放定義了半導體產業的技術路線圖。在2000年左右的Dennard縮放時代,半導體業界每兩年可以將電晶體尺寸縮小50%。 圖1 從1970年代至今,電晶體微縮的方法已走過三個階段...
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