SOI提升晶圓良率 電子束檢測技術為關鍵

2005 年 10 月 21 日
絕緣層覆矽(SOI)晶圓由於具有低功率和高處理速度的優點,已獲得業界廣泛採用。這也使得採用新方法對SOI晶圓進行電子束檢測(EBI)的要求出現...
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