Veeco/imec實現12吋相容鈦酸鋇磊晶製程 矽光子量產邁開重要一步

威科儀器(Veeco)與比利時微電子研究中心(imec)宣布,雙方已經合作開發一套與12吋晶圓相容的量產製程,能夠實現鈦酸鋇(BaTiO3或BTO)在矽光子平台上的整合。鈦酸鋇(BTO)是具備獨特光電特性的潛力材料,可用於新興應用的高速低功耗光調變,例如高速光收發器、量子運算、光達測距(LiDAR)與AR/VR等應用。一直以來,鈦酸鋇的整合方法的成本過高,很難滿足量產需求。如今,威科儀器推出了首款基於分子束磊晶(MBE)的多腔體系統,為威科儀器與imec的合作關係立下重大里程碑,並突顯雙方為提升矽光子平台性能所投入的心力。這套新型12吋平台專為矽上鈦酸鋇(BaTiO3)單晶薄膜的磊晶而設計,提供固態源及混合式MBE這兩種解決方案。透過整合這些替代的長晶技術,這套系統將能實現矽上鈦酸鋇(BTO-on-Si)沉積,以低於傳統MBE方法的成本,提供更高的可再現性。...
2026 年 01 月 30 日