精準揪出製程缺陷 奈米電性量測明察秋毫
各國大廠近年致力挑戰3奈米、2奈米微縮角力戰，製程技術是一場永無止境的競爭。當研發遇上瓶頸時，無論是IC設計、晶圓製造、測試、封裝等，都需要故障分析輔助來釐清問題所在。
而先進製程中的故障分析，對於研發與產能來說更是至關重大，但元件尺寸越做越小，如何在僅有數奈米的微小尺度下，進行電晶體的特性量測以及缺陷處定位則成為了一大難題。
而奈米探針電性量測(Nano-Probing)對上述問題有極大幫助，奈米探針系統是由奈米探針與掃描式電子顯微鏡(SEM)兩者結合而生的工具。
SEM的奈米級高解析度搭配尺寸極小的奈米探針，使製程中數奈米等級的電晶體特性量測，或是精確定位出一個電晶體，甚至是一個接觸點(Contact)的定位分析，都能夠被實現。本文將探討如何利用奈米探針系統，定位缺陷位置的應用方式。
奈米探針系統是透過SEM顯微鏡的極小曲率半徑探針，搭接IC內部線路或接觸層(Contact...
2023 年 01 月 26 日
