TEM/STEM深化材料成分解析 EELS精準解析輕元素

穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM)具有原子級的影像和化學成分解析能力[1],是公認的奈米材料分析利器。廿一世紀後,隨著半導體製程進入奈米節點,金屬化製程也從鋁製程改變為銅製程,電晶體的結構由平面的MOS轉成三維的鰭狀(Fin...
2025 年 09 月 11 日

宜特科技成立全新高階材料分析實驗室

宜特科技宣布將拓展高階材料分析機台設備,引進穿透式電子顯微鏡(TEM,型號JEOL JEM-2100F)與雙束型聚焦離子束(Dual Beam FIB,型號FEI Helios 600),建立全新高階材料分析實驗室,以因應奈米材料尺寸不斷微縮且半導體產業朝高階製程發展的趨勢。新實驗室預計於6月9日正式營運。...
2010 年 06 月 02 日