隨機變異成先進製程最大障礙 Fractilia白皮書提解方

隨著製程節點不斷推進,隨機變異(Stochastics Variation)對圖案化製程良率的影響變得更加顯著。致力於先進半導體製造中隨機性誤差量測與控制解決方案的領導業者Fractilia於最新發表的白皮書指出,在最先進的製程節點中,由於不受控制的隨機性圖案變異導致良率下降及生產進程延誤,製造商的每間晶圓廠損失高達數億美元。這些影響甚鉅的變異,如今已成為先進製程節點量產階段達到預期良率的最大阻礙。...
2025 年 07 月 24 日