AI人機協作降半導體製程開發成本(2)
製造半導體晶片的瓶頸之一，是開發電晶體和記憶體儲存單元的化學電漿製程所需的成本越來越高。這些製程仍然是由訓練有素的工程師以人工方式進行開發，透過尋找機台上的參數組合，以便在矽晶圓上產出可接受的結果。 (承前文)實驗團隊執行製程虛擬遊戲，將該製程的模擬參數化，然後使用基於物理和經驗的關係將輸入機台參數組合「配方」與虛擬晶片上的輸出蝕刻結果相關聯，將其從現有資料校準到專有的特徵輪廓模擬器中。該遊戲的目的是找到一種配方，使此配方能夠產出符合目標的輸出指標，並最小化達成此目標的成本。...
2023 年 10 月 02 日
