實現高精度與可重複性設備保養 協作機器人革新晶圓廠維運

協作機器人在半導體製造的應用範疇,已從製程自動化,進一步擴大到設備維護與保養層面,以紓解專業工程人力吃緊,與人工操作所可能導致的維護品質不一致,以及較長停機等問題,為晶圓製造商實現更高效的營運成果。  ...
2025 年 04 月 22 日

Lam Research協作機器人力助晶圓製造設備維護

科林研發(Lam Research)推出半導體協作機器人(Cobot)Dextro,旨在最佳化晶圓製造設備的關鍵維護任務。Dextro現已部署至全球多個先進晶圓廠中,可實現準確、高精度的維護保養,以最大限度地減少設備停機時間和生產變異。它驅動了一步到位(FTR)的顯著成果,進而提高了良率。...
2024 年 12 月 16 日