TEM/STEM深化材料成分解析 EELS精準解析輕元素

穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM)具有原子級的影像和化學成分解析能力[1],是公認的奈米材料分析利器。廿一世紀後,隨著半導體製程進入奈米節點,金屬化製程也從鋁製程改變為銅製程,電晶體的結構由平面的MOS轉成三維的鰭狀(Fin...
2025 年 09 月 11 日