EUV機台背後最重要的隱形冠軍 TRUMPF來台助晶圓廠設備回春

這是一個關於名字的笑話,也是一個嚴肅的產業現實。在台灣半導體圈,當人們談論「Trump」時,指的不一定是美國總統,而是掌握全球先進製程命脈的德國百年家族企業——通快集團(TRUMPF)。 如果不熟悉這個名字,我們可以換個說法:如果沒有這家公司,ASML的EUV微影機就是一台無法發光的巨大廢鐵,而台積電的先進製程也將隨之停擺。TRUMPF正是那道極紫外光的真正造物主,他們獨家供應的雷射放大器,是EUV系統中技術最密集的心臟。...
2025 年 12 月 01 日

打通量產關鍵環節 高功率LPP光源加速EUV商用

EUV微影預計將在後193奈米浸潤式微影技術時代,成為關鍵尺寸成像的解決方案,而高功率LPP光源系統則是實現EUV微影商用的重要條件;藉由超過400瓦輸出功率的LPP光源,可滿足光阻劑靈敏度等各方面的製程需求,並進一步抑制光學元件的退化。
2011 年 12 月 29 日