乾式蝕刻技術加持 感測器校準更省事

MEMS慣性感測器的晶圓蝕刻技術,可分成濕式與乾式兩種。採用乾式蝕刻(Plasma Etching)的好處在於,由於其過程不含水分,較不易受到地心引力的影響,因此在感測器整體的精準度上,得以維持得很好...
2016 年 12 月 05 日

工業流程要求各不相同 客製化感測方案機會浮現

工業應用是個相對破碎而零散的市場,由於每個製造產業的屬性不同,對解決方案的要求也自然有所差異。根據工研院IEK指出,大部分的工廠都包含了機台加工、組裝、檢測、物流四項流程,而每個流程中,皆有對感測技術的不同需求。因此,感測器客製化將是必然趨勢。也正因為如此,零組件供應商必須和客戶保持相當密切的合作關係。 工研院零組件研究部產業分析師謝孟玹表示,大部分的工廠可分為機台加工、組裝、檢測、物流四個流程。這四項流程,將各自衍生對感測器的需求,像是在機台加工,目前最熱門的議題是在設備診斷,加速度計可以協助判斷有無異常的震動,而溫度感測器則可以用來判斷溫差有無異常,或是機台變得過熱的狀況,再來則是噪音,像是齒輪磨損的聲音是否過大,即是MEMS麥克風可以發揮的功能。 在組裝的部分,感測器應用比較明顯的系統是機械手臂,機械手臂以往只是在搬東西,往後若要能夠組裝,就必須要有加速度計做到抓取,以及陀螺儀來做到旋轉的功能,甚至如果要機器人鎖螺絲,還需要扭力感測器(Torque...
2016 年 12 月 01 日

MEMS規模競賽加劇 前四大廠地位難撼動

微機電系統(MEMS)市場競爭門檻愈來愈高。根據市場研究機構Yole Developpement於12日公布的報告指出,在景氣回溫與需求回補的帶動下,2010年全球MEMS市場產值較2009年增長25%,達86億美元,其中,前四大業者合計營收已占總產值三成比重,顯見MEMS產品雖百花齊放,但市場已逐漸由少數業者所主導,未來營收規模少於2億美元以下的業者勢將面臨嚴峻的生存挑戰。   微機電系統(MEMS)市場競爭門檻愈來愈高。根據市場研究機構Yole...
2011 年 04 月 14 日