圖1 從左至右分別為:透明線條(曝光)、暗線條(未曝光)、透明孔洞、暗柱,顯示EUV製程中跨特徵與節距的量測誤差,凸顯線性度校正需求。

克服曲線光罩設計挑戰 像素級曝光校正效果卓越

在近期舉辦的SPIE Photomask Japan 2025會議上,筆者與其他人共同發表了一篇標題為《全光罩曲線即時線性修正:包含可變偏差與零週轉時間》(Full Reticle Curvilinear...
2025 年 11 月 05 日

MIPI CSI-2 v4.0發布 影像監控傳輸不斷線

行動通訊產業介面標準組織MIPI聯盟(MIPI Alliance)日前宣布推出CSI-2 v4.0,優化機器視覺應用的影像傳輸。本次更新鎖定嵌入式影像感測器介面,主要針對機器視覺操作環境增加不斷線功能(Always-On...
2022 年 02 月 10 日