家登精密榮獲國家磐石獎/青年創業楷模獎

2008 年 03 月 17 日

光罩全方位解決方案供應商家登精密(Gudeng Precision)榮獲2007年第十六屆臺灣國家磐石獎及青年創業楷模獎兩項殊榮。該公司成立於1998年,設立初期主要專注在射出模具與高精度零件的製造與設計,2000年開始,該公司進入黃光製程領域,致力於半導體前段製程設備與高階光罩儲存、傳輸及清洗設備的研發。
 



在半導體製程中,黃光微影製程技術的突破往往決定半導體工業的發展速度,因為空氣中化學污染和微粒問題,會直接影響到晶圓和光罩傳送盒的淨化程度,是各大半導體廠極須解決的問題。該公司的微污染與靜電防治團隊陣容實力堅強,推出以英國威格斯(Victrex)的VICTREX ESD PEEK聚合物為基材的8晶舟(wafer Cassette),晶舟是放置於晶圓盒內用於承載、傳送和保護晶圓的容器。採用VICTREX ESD PEEK所製造的晶舟,可避免晶圓與晶舟溝槽因摩擦產生靜電放電(Electrostatic Discharge, ESD)而導致電路燒壞或因靜電吸附而導致晶圓遭到污染,以達到降低靜電累積與防護的目的,而其擁有的低發塵量/低析出物,能減少晶圓與晶舟溝槽間的接觸點形成發塵或微粒產生,避免造成晶圓瑕疵。
 



在其他半導體相關零件方面,家登精密使用VICTREX PEEK聚合物製造8與12化學機械研磨環(Chemical Mechanical Planarization Ring, CMP環)。VICTREX PEEK擁有耐磨耗特性、低微粒產生、高純度與耐化學性,不但符合化學機械研磨製程中的嚴苛要求,並可延長CMP環在化學機械研磨過程中的使用壽命。因此,採用VICTREX PEEK所製造的CMP環可減少因更換已磨損的CMP環而產生的停工時間,進而降低每個晶圓的生產成本。
 



家登精密網址:www.gudeng.com
 


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