量測儀器廠致茂電子將於2006台灣平面顯示器展中，首次曝光全新研發的次奈米三維光學輪廓儀(Chroma 75xx系列產品)，此一系列產品採白光干涉掃瞄原理(SWLI)，透過顯微干涉儀、精密掃描系統和創新演算法，量測及分析各類產品表面的立體細微構造，最適合微米至奈米尺寸範圍之半導體、電子封裝、平面顯示器、微機電等產業表面三維形貌檢測應用，為微小製程與研發之必備工具。
Chroma 75xx系列產品乃採用影像式整面檢測，速度快且可靠，具有次奈米垂直解析能力與寬廣掃描範圍，可對大面積產品作細微檢測；具暗點及繞射影響修正功能，適合應用於反射率差異大之產品；擁有圖示控制系統、三維輪廓顯示及強大的輪廓分析軟體；可輕易上手的操作介面。
此系列產品在檢測速度與演算法上領先業界，於廣泛的應用領域可解決業界檢測問題，並已取得多項國內外專利認證。目前已獲國內中原大學採用，及其他大學院校實驗室相繼測試，其精準度與穩定度均獲得高肯定與評價。亦有多家企業包括電子與平面顯示器業界，將於近期應用在其產品檢測。
致茂預估全新的Chroma 75xx系列次奈米三維光學輪廓儀的推出，將有效降低客戶製造成本、提升產品良率，是引領業界創新的全方位量測解決方案。
致茂網址：www.chromaate.com
