在晶圓階段確認特性 點測設備助力氣體感測器開發

2019 年 10 月 07 日
科技進步不僅促進工業化與城市化的快速發展,同時車輛與工廠增加帶來了許多的空氣汙染,而空氣中有毒物質與微小粒子如PM2.5,長期累積會對人體健康形成重大危害。2014年的高雄氣爆事件,以及近年來秋冬之際,台灣西部空氣品質屢屢惡化,都顯示氣體成份與微小粒子PM2.5等氣體感測器將是環境感測技術發展重點。
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