專訪IMEC總裁暨執行長Luc Van den hove 10nm製程將再掀半導體投資熱潮

作者: 黃耀瑋
2013 年 10 月 03 日
繼28奈米高介電係數金屬閘極製程(HKMG)、16/14奈米鰭式電晶體(FinFET)接連掀起半導體技術革命後,10奈米以下製程更將顛覆產業,並牽動微影與電晶體通道材料汰換,以及18吋晶圓導入需求等技術革新,使半導體業投資再度大爆發。
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