生醫電子漸夯 MEMS廠布局微流體代工商機

作者: 黃耀瑋
2012 年 11 月 06 日

微機電系統(MEMS)微流體(Microfluidics)晶片行情看漲。MEMS微流體逐漸在生物醫療市場嶄露鋒芒,瞄準此一商機,MEMS設計代工廠–IMT(Innovative Micro Technology)正利用專利三維(3D)MEMS晶圓製程,擴大整合微流體、微閥門(Microvalve)及光學元件,期打造客製化、高速與高精準細胞分選(Cell Sorting)方案,吸引醫療設備業者青睞。



IMT業務發展副總裁Craig T. Trautman認為,MEMS晶圓代工潛力巨大,特別是工業、醫療等高階應用市場,更將湧現龐大客製化MEMS元件設計需求。



IMT業務發展副總裁Craig T. Trautman表示,近期IMT量產22奈米(nm)立體堆疊MEMS微流體晶片,已獲Owl Biomedical新一代細胞分選系統–Nanosorter採納,為生物醫療產業帶來重大技術突破。該晶片基於IMT獨家矽穿孔(TSV)製程,可堆疊四到五片22奈米MEMS晶圓,有利於整合微流體、微型閥、光學及電磁致動器(Electromagnetic Actuation)等元件,進而提高晶片工作效率與精準度,並大幅縮減占位空間。


據悉,IMT與Owl Biomedical合作開發的高速、可拋棄式(Disposable)細胞分選系統,提高初始細胞存活(Cell Viability)率至97%、檢測吞吐量則高達每小時兩億個細胞;從而快速辨別細胞好壞,用於監控人體狀態、改善癌症治療方法及個人化藥物調配等醫療行為。Trautman強調,此方案完全發揮MEMS微流體的應用價值,將快速打開生物醫療市場,並引爆一波高品質、客製化MEMS元件設計與代工商機。


除生物醫療應用外,由於IMT擁有上百項MEMS製造專利,故也為射頻(RF)、光網路、導航、能源及測試領域提供完整MEMS設計及代工服務。旗下產品陣容涵蓋MEMS微流體、微型閥、微幫浦(Micropump)、光學、磁力計、加速度計、陀螺儀、晶圓級封裝(WLP)與矽穿孔製程等;還可提供MEMS矽智財(IP)整合平台設計構思,協助客戶催生客製化晶片解決方案。


Trautman不諱言,儘管多半MEMS市場仍掌握在整合元件製造商(IDM)手中,然而,隨著MEMS技術在行動、工業級醫療應用領域大放異彩,晶片代工需求亦跟著水漲船高,將逐漸讓MEMS產業跳脫IDM統包供應模式。也因此,IMT遂致力推廣高價值MEMS生產業務,現同一時間皆有35~40個代工訂單進行中,產能利用率也幾近滿載,高達99%;並已開始部署MEMS微流體IP授權與設計服務攻勢,加快腳步圈地生物醫療市場。


看準MEMS出貨量將逐年遞增,且產品研發時程也將更加緊縮,Trautman透露,IMT已投入MEMS與互補式金屬氧化物半導體(CMOS)晶圓堆疊技術研發,未來可望透過打線接合(Wire Bonding)方式,製作更高整合度的MEMS感測器,刺激代工市場需求往上衝刺。

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