實現高精度與可重複性設備保養 協作機器人革新晶圓廠維運

作者: 吳心予
2025 年 04 月 22 日
協作機器人在半導體製造的應用範疇,已從製程自動化,進一步擴大到設備維護與保養層面,以紓解專業工程人力吃緊,與人工操作所可能導致的維護品質不一致,以及較長停機等問題,為晶圓製造商實現更高效的營運成果。  ...
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